W-Serie

Die W Serie von Bowman setzt Polykapillaroptiken ein, um den Röntgenstrahl auf 7,5 µm FWHM zu fokussieren, dem weltweit kleinsten mit derartigen RFA Messgeräten. Eine 150fach vergrößernde Kamera ist zur Darstellung von Merkmalen dieser Größenordnung eingebaut; eine zweite Kamer mit geringerer Vergrößerung liefert ein Livebild der Proben. Das Dual-Kamera-System von Bowman ermöglicht es dem Bediener das gesamte Teil zu sehen, auf das Bild zu klicken, um mit der hochauflösenden Kamera zu zoomen und damit die zu programmierende und zu messende Funktion genau einstellen zu können. Ein programmierbarer XY-Tisch mit einer Genauigkeit von weniger als +/- 1µm für jede Achse ermöglicht die Auswahl der Messpunkte; die Bowman Mustererkennungssoftware und Autofokusfunktionen leisten dies ebenfalls automatisch. Die 3D-Mapping-Funktion des Systems kann zur Erfassung der Topografie

einer Beschichtung z.B. auf einem Wafer eingesetzt werden. Die Geräte der W-Serie haben eine Molybdän-Anodenröhre (Chrom und Wolfram sind optional) mit einer 7,5µm-Optik und einen hochauflösenden, großflächigen Silizium-Drift-Detektor (SDD), der mehr als 2 Millionen Impulse pro Sekunde verarbeitet. SDD´s sind branchenweiter Standard für komplexe Schichten. Ihre hohen Zählraten sind der Schlüssel zum Erreichen einer niedrigen minimalen Nachweisgrenze (MDL) und höchster spektraler Auflösung. Die W-Serie ist das siebte Modell im RFA Programm von Bowman. Wie andere Geräte im Bowman Portfolio misst es bis zu 5 Schichten. Die fortschrittliche Xralizer-Software errechnet die Schichtdicken aus den detektierten Photonen. Sie kombiniert die intuitive Steuerung mit zeitsparenden Verknüpfungen, umfangreichen Suchfunktionen und „Ein-Klick-Berichten“. Die Software vereinfacht auch die Erstellung neuer Applikationen durch den Anwender.