O-Serie
Die O-Serie kombiniert hohe Leistung mit kleinem Messfleck. Dies wird durch die Polykapillar Optik ermöglicht, die die sonst in den Bowman Standard Systemen verbaute Kollimatorbaugruppe ersetzt. Die Optik ist so konstruiert, dass sie die aus dem Austrittsfenster der Röhre austretende Röntgenstrahlung auf eine sehr kleine Spotgröße fokussiert (80μm FWHM), wobei praktisch 100% der Röhrenstrahlung erhalten bleiben. Anstatt also die Röntgenstrahlen abzuschwächen, die nicht durch die kleinen Öffnungen eines Kollimators passen, wie es bei Kollimatorsystemen der Fall ist, ermöglicht die Polykapillaroptik, dass fast die gesamte Röntgenstrahlung aus der Röhre die Probe erreicht.
Das Ergebnis ist eine viel größere Empfindlichkeit für die Prüfung sehr kleiner Komponenten oder dünner Schichten. Bei kürzeren Prüfzeiten kann eine noch bessere Wiederholbarkeit beim Vergleich von optischen Systemen mit einem Kollimator ähnlicher Größe erreicht werden. Die Standardkonfiguration umfasst die 80μm Polykapillaroptik, einen programmierbaren XY-Tisch und einen hochauflösenden SDD-Detektor zur Verarbeitung der höheren Zählraten. Die Kamera verfügt über eine 45-fache Videovergrößerung und einen 5-fach Digitalzoom. Das optische System hat einen sehr kleinen Messabstand, weshalb die Proben flach sein müssen.
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Röntgenanregung 50 W (50 kV, 1mA) Mikrofokus Röntgenröhre mit Mo-Anode und 80 µm Polykapillaroptik FWHM |
Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen 5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan |
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Detektor SDD-Detektor mit 135 eV Auflösung |
Filter 2 Primärfilter |
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Fokusabstand Fester Fokusabstand 2,54 mm |
Digitaler Pulsprozessor Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur |
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Video Vergrößerung 45x: Standard |
Prozessor: Intel, CORE i5 3470 (3.2 GHz), 8 GB DDR3 Speicher, Microsoft Windows 10/11 Prof, 64 bit equivalent |
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Umgebungsbedingungen: 20 °C bis 25 °C und bis zu 98 % Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
Kamera: 1/4″ CMOS-1280×720 VGA Auflösung |
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Gewicht 53 kg |
Netzanschluss: 150 W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47 Hz bis 63 Hz |
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Programmierbarer XY-Tisch: Größe: 380 x 330 mm Verfahrweg: 127 x 152 mm |
Maße (H x B x T): Kammer: 140 mm, 310 mm, 335 mm Außenmaße: 450 mm, 450 mm, 600 mm |
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Element Bereich Aluminium 13 bis Uran 92 |
